Natuurkundig Gezelschap te Utrecht

Jaarprogramma 2008-2009 | Vorige lezing | Volgende lezing | Home


Dinsdag 6 januari 2009
Dr. Y. Knops (ASML Veldhoven)

De technische uitdagingen van immersie voor lithografie machines van ASML

ASML is een high-tech bedrijf uit Veldhoven dat lithografie machines maakt die chipfabrikanten gebruiken voor de productie van chips.
Chipfabrikanten over de hele wereld zijn continu op zoek naar steeds snellere, kleinere en goedkopere chips.
Immersie technologie, het plaatsen van water tussen de lens en de wafer, is een goede optische truc om kleinere chips te maken. Dit klinkt eenvoudig, maar is extreem moeilijk bij de hoge snelheden en de gevraagde nauwkeurigheid waarmee de ASML machines werken.
Na een korte inleiding over ASML zal deze presentatie ingaan op de immersie technologie en de uitdagingen wat betreft het vasthouden van
het water, het voorkomen van bellen en temperatuurproblemen.

Links:

Jaarprogramma 2008-2009 | Vorige lezing | Volgende lezing | Home


De vergaderingen worden gehouden in zaal 208 (Zonnezaal) van het Minnaertgebouw, De Uithof (te bereiken via de ingang van het Buys Ballotlaboratorium, Princetonplein 5). De aanvang is telkens om 20.00 uur, de vergaderingen duren inclusief een pauze tot uiterlijk 22.00 uur.