Jaarprogramma 2008-2009 | Vorige lezing | Volgende lezing | Home
Dinsdag 6 januari 2009
Dr. Y. Knops (ASML Veldhoven)
De technische uitdagingen van immersie voor lithografie machines van ASML
ASML is een high-tech bedrijf uit Veldhoven dat lithografie machines maakt die
chipfabrikanten gebruiken voor de productie van chips.
Chipfabrikanten over de hele wereld zijn continu op zoek naar steeds snellere,
kleinere en goedkopere chips.
Immersie technologie, het plaatsen van water tussen de lens en de wafer, is een
goede optische truc om kleinere chips te maken. Dit klinkt eenvoudig, maar is
extreem moeilijk bij de hoge snelheden en de gevraagde nauwkeurigheid waarmee de
ASML machines werken.
Na een korte inleiding over ASML zal deze presentatie ingaan op de immersie
technologie en de uitdagingen wat betreft het vasthouden van
het water, het voorkomen van bellen en temperatuurproblemen.
Links:
Jaarprogramma 2008-2009 | Vorige lezing | Volgende lezing | Home